光學(xué)輪廓儀中使用的光學(xué)距離傳感器的技術(shù)觀察

光學(xué)車間檢查

共聚焦顯微鏡共聚焦顯微鏡是最商業(yè)化的光學(xué)焦點(diǎn)傳感系統(tǒng)之一。系統(tǒng)，該系統(tǒng)首先用于檢測生物樣品，最近用于測量工程表面干涉光學(xué)輪廓儀

(1)最早用于雙波長和多波長干涉儀的干涉光學(xué)輪廓儀使用相移技術(shù)時是單色光照明。最好使用相移技術(shù)測量精度高，但是單色照明限制了測量范圍。為了能夠擴(kuò)展測試在容量范圍方面，雙波長和多波長技術(shù)得到了進(jìn)一步發(fā)展。雙波長和多波長全息和散斑技術(shù)中也使用干涉原理來測量大直徑分量。同時，使用條紋投影和結(jié)構(gòu)光技術(shù)

(2)白光干涉測量法白光干涉測量系統(tǒng)早已為工程技術(shù)所建立。領(lǐng)先的光學(xué)輪廓儀，用于表面測量。白光干涉法可以看作是一種光學(xué)聚焦，最佳焦點(diǎn)取決于傳感器的位置和干擾信號。此類設(shè)備的典型結(jié)構(gòu)為：它由帶有干涉物鏡的常規(guī)顯微鏡組成。這種干涉儀與其他光學(xué)和探頭輪廓技術(shù)相比，優(yōu)點(diǎn)是不會進(jìn)行全場掃描，點(diǎn)對點(diǎn)掃描。由于整個區(qū)域同時成像，因此水平掃描我不再需要了這也大大提高了測量速度。

(3)各頻譜干涉儀的干擾技術(shù)形成的干涉條紋稱為頻譜干涉條紋。光譜干擾會通過使用干涉儀的可調(diào)源獲取干涉儀或在干涉儀輸出端使用它將分散元素放置在末尾以實(shí)現(xiàn)。不同的系統(tǒng)稱為波長掃描干涉儀器或經(jīng)光譜解析的白光干涉儀。這種測量技術(shù)不再是找到每個點(diǎn)的最重要方法。最重要的是測量邊緣時段，其中包含測量目標(biāo)的位置信息。這個技術(shù)避免了軸向機(jī)械掃描。

(4)干涉光學(xué)輪廓儀的光學(xué)測距傳感器經(jīng)常使用的技術(shù)已經(jīng)確立。基于干涉式光學(xué)測距傳感器技術(shù)或基于傳感技術(shù)開發(fā)這種傳感技術(shù)主要用于基于單個點(diǎn)的絕對距離或長度測量。量。要執(zhí)行單點(diǎn)檢測，您需要使用更快的檢測器和光電設(shè)備，這是一種用于特殊任務(wù)的信號處理技術(shù)。

(5)偏振干涉儀某些干涉儀使用光的偏振特性。類似于微分干涉，兩條光束在干涉儀內(nèi)遵循幾乎相同的路徑。顯微鏡也是如此。偏振干涉儀使用偏振光來實(shí)現(xiàn)相移。這通常對振動的敏感性低。在評估某些亞顯微結(jié)構(gòu)特性時，光的偏振特性非常重要。有效。